1、直觀觀察：如果氣相色譜儀系統(tǒng)氣路有較大的泄漏，就會出現明顯的漏氣聲，流量就會有可能調不上去。

2、查漏：聽到有漏氣聲之后，可以利用皂液的涂抹來確定漏氣的源頭，進行堵漏。

3、柱前壓觀察：檢查柱前壓力值，如果是柱前壓太低（地說是比正常流量操作時的預定壓力值低），則說明氣源需要檢查；如果柱前壓正常則需要檢查儀器的內部氣路。

4、鋼瓶高壓檢查：如果鋼瓶閥的壓力在1~15MPa之間，說明是正常的，如果壓力在1MPa以下，應該對鋼瓶進行換氣。

5、減壓閥上低壓輸出檢查：如果減壓閥在鋼瓶上低壓是0.25~0.6MPa之間，就說明是正常的，如低壓值不正常，則說明減壓閥有問題。

6、過濾器堵塞及穩(wěn)壓閥檢查：將過濾器出口到儀器氣源入口處的接頭緩緩旋開，如果氣流從接頭處跑出，就說明過濾器沒有問題，穩(wěn)壓閥可能有問題，這時可以把穩(wěn)壓閥進行拆卸清洗，如果接口處打開后，氣流沒有從接頭處跑出，那么就需要檢查過濾器入口的前后是不是有堵塞的地方。